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测量台操作方式

手动

自动

测量行程

单位(mm)

170 × 110

300 × 280

移动量

X(mm)

70

80

Y(mm)

70

60

Z(mm)

80（测定物高锄耻颈大150）

50

测定物高（锄耻颈大）

80（150可选）

50

外形(mm)

600(W)×465(D)×730(H)

重量(kg)

79

85

测量台载重(kg)

3

1

电源

AC200V±10V

X线源

油浸式小型微焦点Ｘ线管
管电圧50kV
管电流可変

照射方式

上面垂直照射方式

検出器

比例计数管

准直孔

5种类(自动切換式)
0.1, 0.2, 0.5, 1.0, 2.0φmm
(可选换如下准直孔)
：0.05×0.5,0.05φ

样品观察

CCD镜头

测定対象

原子番号22(Ti)～82(Pb)
原子番号21以下可应用吸收法测量

滤波器

 (Co、Ni)自动切換

厚度测定范围

原子番号22～24：0.2～约20μm
原子番号25～40：0.1～约30μm
原子番号41～51：0.2～约70μm
原子番号52～82：0.05～约10μm

検量线

検量线自动作成

测量功能

単层膜厚测定
2层膜厚测定
3层膜厚测定
合金膜厚成分比同时测定
无电解膜厚测定

测量模式

自动测量
X-Ray功率可选择

自动测量台功能

测定位置(X-Y-Z)
同一点重复测量功能
原点补正功能

测定位置确认功能
自动校正

数据処理机能

统计量表示：平均、标準偏差、锄耻颈大、锄耻颈小、方差、Cp、Cpk
饼图表示
柱状图表示
测定值立体图表示
ｘ-R管理图